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在半导体行业中,空气中的悬浮粒子污染物对于制作过程的潜在危害越来越受到人们的重视。所以微粒过滤在生产过程中是必须的,也是追求成品率高、退货率低的半导体行业首当其冲需要解决的问题。洁净室最突出的问题是产品、工具、加工过程中气味控制的污染。空气中的分子污染物会随着温度和湿度的相对作用而增加,从而加速产品的表面氧化和腐蚀,保护设备的正常工作。(照片:天津核理化院)